本发明公开了一种LiSiPON锂离子电池固态电解质薄膜的制备方法。它是由N2:Ar体积流量比为1:5-1的离子束轰击Li3PO4和Si3N4,得到的厚为80nm~150nm的LiSiPON薄膜。本发明同时公开了LiSiPON锂离子电池固态电解质薄膜在制备微型全固态锂
电池材料方面的应用。通过实验得到提高N2的比例有效提高薄膜中的含氮量,并在最佳配比:氮氩流量比为1:1时,其离子电导率可达6.8×10-6S/cm。结合薄膜电极可组装为全固态薄膜锂离子电池,本发明所述的方法不仅成本低,工艺简单,而且制备的薄膜致密均匀,制备条件可控性强,便于规模商业化生产。
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