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低驱动电压铌酸锂电光调制器及其制造方法

977   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:11:53
本发明公开了一种低驱动电压铌酸锂电光调制器，通过在X切Y传铌酸锂晶体上制作脊型波导结构，并将电光调制器的电极结构制作于脊型波导结构的两侧，使电光调制器电极结构之间的电场可以沿着水平方向分布。与现有铌酸锂电光调制器相比，本发明提出的铌酸锂电光调制器可以大幅提升电场对光场的调制效率，降低器件的驱动电压。另外在其他方案中，还可以采用低介电常数材料作为铌酸锂薄膜的基底晶片并在铌酸锂薄膜上制作脊型波导结构，既可以有效地提升铌酸锂电光调制器的工作带宽，又可以降低铌酸锂电光调制器的驱动电压。还提供一种低驱动电压铌酸锂电光调制器的制造方法。
声明：
“低驱动电压铌酸锂电光调制器及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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