一种铌酸锂基多模干涉波导型光功分器,包括1×N多模干涉光波导,是在铌酸锂衬底上设置渐变折射率分布的多模光干涉区、及多模光干涉区两端的单模输入波导和N个单模输出波导。本发明由于采用了渐变折射率分布波导,所以用简单的工艺制作过程在商用化程度很高且具有很好光学特性的铌酸锂基片上制作出性能优良的多模干涉波导型光功分器,可进一步商业化,低投入、高产出,形成规模化生产。并可进一步研制出M×N多模干涉波导型光耦合器。
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