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全固态薄膜锂电池及其制备方法

874   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:04:20
一种全固态薄膜锂电池及其制备方法，属于锂离子电池技术领域。全固态薄膜锂电池的制备方法，包括：依次进行的薄膜基板的供给操作和对薄膜基板的溅射操作。其中，薄膜基板的供给操作和溅射操作包括：在同时存在第一电子集流体靶材、第一电极靶材、锂镧锆钽氧靶材以及第二电极靶材的第一真空环境中，通过磁控溅射的方式在衬底基片上依次沉积形成叠层设置的第一电子集流体薄膜、第一电极薄膜、锂镧锆钽氧薄膜以及第二电极薄膜。利用该制备方法，能够解决锂镧锆钽氧薄膜与电极薄膜之间固‑固界面接触较差的问题，并且能够通过原位生长制备出厚度可控的致密薄膜材料，以提高制备得到的全固态薄膜锂电池的稳定性和电化学性能。
声明：
“全固态薄膜锂电池及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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