本发明公开了一种钽酸锂晶体基片加工方法,包括切片、倒角、黑化、研磨、粗抛和精抛步骤,在所述粗抛和精抛步骤中采用了钻石抛光液,所述钻石抛光液由钻石微粉、乙二醇、甘油、乙醇氨以及去离子水构成,其PH值在9~11之间,其中钻石微粉含量为20~25%,乙二醇含量为8~15%,甘油含量为3~5%,乙醇氨含量为0.1~0.3%,去离子水含量为60~65%。本发明可以大大提高钽酸锂晶片的表面光洁度、降低其表面粗糙度,消除应力,达到镜面抛光效果,从而降低节约生产成本和提高产品的合格率。
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