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基于碳纳米管和钯复合薄膜的氢气传感器

951   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:33:54
本发明涉及新能源敏感材料，具体涉及一种基于碳纳米管和钯复合薄膜的氢气传感器，从内向外依次包括P型硅基底(4)、碳纳米管(3)、金属钯薄膜(2)和两个金属电极(1)，其中所述碳纳米管(3)的排布方式为分纵向和横向均匀排布，所述两金属电极(1)均为条形且相互对称的设置在金属钯薄膜(2)上表面。本发明采用的纹碳纳米管可以有效的改善金属钯膜的吸氢性能，减少氢气传感器的响应时间、提高氢气传感器的响应度；同时，器件的选择性也得到保证；此外，本发明可以在室温条件下工作；并且，器件制备工艺简单，易于大规模生产。
声明：
“基于碳纳米管和钯复合薄膜的氢气传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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