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MEMS惯性传感器、惯性测量单元及惯性导航系统

666   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 20:33:52
本申请提供了一种MEMS惯性传感器,可用于智能汽车、新能源汽车、传统汽车、高铁列车、无人机、智能机器人、摄像稳定平台、智能手机等载体中。所述MEMS惯性传感器包括:衬底;传感组件,所述传感组件包括MEMS悬浮框架,以及,内嵌于所述MEMS悬浮框架内的MEMS功能结构;第一支撑臂,所述第一支撑臂分别与所述MEMS悬浮框架和所述衬底固定连接,所述第一支撑臂用于使所述传感组件悬浮于所述衬底上。本申请提供的MEMS惯性传感器能够阻断封装应力通过衬底、盖板耦合到MEMS惯性器件功能结构上,提升了MEMS惯性传感器的稳定性,并且有利于提升导航的定位精度。
声明:
“MEMS惯性传感器、惯性测量单元及惯性导航系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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