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偏转可控的MEMS微型反射镜结构

1025   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:19:42
本发明公开了一种偏转可控的MEMS微型反射镜结构，包括衬底层、镜片层和牺牲层，牺牲层图形化沉积与消除后，镜片层与衬底层部分相连，部分悬空，衬底层包括衬底材料、衬底导电层、衬底图形化金属层和衬底保护层，镜片层包括镜片承载层、镜片金属层和镜片补偿层，衬底图形化金属层、镜片金属层与引线接口相连，基于本发明结构制造的光调配器件，能够实现光线聚焦、反射、散射等多种功能，本发明可应用于太阳光平面聚焦、智能门窗阳光调节、光开关等多个领域，在新能源利用及绿色环保方面有着非常好的应用前景。
声明：
“偏转可控的MEMS微型反射镜结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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