本发明公开了一种自驱动
钙钛矿光电探测器及其制备方法,属于半导体光电探测器制备技术领域。其制备在于:首先采用金属热蒸发工艺,通过掩膜版在玻璃衬底上沉积左侧底部金电极,然后利用溶胶凝胶法,在沉积好左侧底部金电极的玻璃衬底上形成甲基氨基碘化铅感光层,最后通过掩膜版在感光层表面制备右侧顶部金电极,形成自驱动钙钛矿光电探测器。本发明的光电探测器在零伏偏压下,在可见光波段,能够将光信号很好的转化为电信号,表现出良好的自驱动特性。以3mW/cm
2的650nm波长光照为例,器件的响应度为10mA/W,探测率为2.9×10
11Jones,开关比达到10
4。且本发明工艺简单,可明显降低器件制备成本。
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