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用来制备纳米硅粉的电弧放电-等离子体复合装置

939   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 18:00:55
本实用新型公开了一种用来制备纳米硅粉的电弧放电-等离子体复合装置，其特征在于，包括电弧放电装置和等离子体发生器，所述电弧放电装置和等离子体发生器通过管道和阀门连接。本实用新型所述复合装置可以直接采用高纯度半导体（9N级晶硅）或太阳能级（6N级晶硅）铸锭的硅棒，采用电弧放电、高温等离子体气化、活化处理、接枝反应等步骤得到一种核壳结构硅纳米复合材料，成品转化率和纯度较高，使用本装置制备方法简单易行，适合规模化生产。
声明：
“用来制备纳米硅粉的电弧放电-等离子体复合装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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