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在基体材料上沉积钽或铌的方法

942   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:40:56
本发明涉及一种在基体材料上沉积钽或铌的方法。其特点是，包括如下步骤：首先将NbCl5或TaCl5放入第一加热炉中升温至250℃-300℃成为气体，然后通入体积比2：1-2的氢气和氩气，一起进入放有基体材料的第二加热炉中进行反应，反应中控制氢气与NbCl5或TaCl5气体的流量比为2-5:1，加热到1000℃-1400℃进行反应，随着反应的进行，Nb或Ta粉末落在基体材料上与基体材料结合形成复合材料。本发明的优点在于工艺简单，并且特别适用于尺寸较小的容器及管、棒、带材等材料。
声明：
“在基体材料上沉积钽或铌的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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