本发明涉及一种在基体材料上沉积钽或铌的方法。其特点是,包括如下步骤:首先将NbCl5或TaCl5放入第一加热炉中升温至250℃-300℃成为气体,然后通入体积比2:1-2的氢气和氩气,一起进入放有基体材料的第二加热炉中进行反应,反应中控制氢气与NbCl5或TaCl5气体的流量比为2-5:1,加热到1000℃-1400℃进行反应,随着反应的进行,Nb或Ta粉末落在基体材料上与基体材料结合形成
复合材料。本发明的优点在于工艺简单,并且特别适用于尺寸较小的容器及管、棒、带材等材料。
声明:
“在基体材料上沉积钽或铌的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)