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SiOx : Si合成材料复合物及其制造方法

712   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:38:33
本发明采用氧化硅材料和导电的掺杂硅材料在保护性环境中烧结以产生 复合的SiOx : Si材料，其表现出SiOx的特性，并且其由于存在Si而导电。 这样一种复合材料有许多用途，如用作DC和/或AC溅射工艺中的靶材以产 生用于触摸屏应用中的氧化硅薄膜，LCD显示器的阻挡薄膜和用在各种应用 中的光学薄膜。
声明：
“SiOx : Si合成材料复合物及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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