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封装的复合背板

820   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 17:38:31
公开了一种用于与溅镀靶材一起使用的背板,其包括:由复合材料形成的芯部件;以及由金属或金属合金形成的外层,其中所述外层完全环绕并覆盖所述芯部件。还公开一种用于循环利用这种背板的方法。
声明:
“封装的复合背板” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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标签:
复合材料
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