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封装的复合背板

791   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:38:31
公开了一种用于与溅镀靶材一起使用的背板，其包括：由复合材料形成的芯部件；以及由金属或金属合金形成的外层，其中所述外层完全环绕并覆盖所述芯部件。还公开一种用于循环利用这种背板的方法。
声明：
“封装的复合背板” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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标签：
复合材料
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