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SiOx : Si复合物及其制造方法

975   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:32:06
本发明提供一种制品，由硅氧化物和导电的掺杂的硅材料制成，两者在保护性的环境中结合以形成SiOX : Si材料的复合物，该复合物呈现出SiOX的特性，还由于Si的存在而具导电性。由这种复合材料制成的制品有很多用途，例如作为直流或交流溅射过程中用于生产硅氧化物薄膜的靶材，用于触摸屏，LCD显示屏的格栅薄膜和用在很多领域的光学薄膜。
声明：
“SiOx : Si复合物及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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