本发明涉及一种稳定性能优异的(Ta,Hf,Zr)C复合涂层的制备方法,其依次包括以下步骤:(1)在氩气保护手套箱内,配制并盛装TaCl
5、HfCl
4和ZrCl
4混合粉末;(2)将基体样品放在沉积炉内,排除空气,再升温;(3)双温区气化炉放入混合粉末,设定低、高温区的加热温度;(4)通入H
2、CH
4,以及完全气化后的混合气体,在常压条件下沉积;(5)沉积完成后,关闭H
2、CH
4,以及沉积炉和双温区气化炉,降温取出样品。该制备方法能够精确控制反应源比例,且能保证与基体材料结合紧密牢固、稳定性能优异,适用于石墨、碳‑碳
复合材料等超高温防护。
声明:
“稳定性能优异的(Ta,Hf,Zr)C复合涂层的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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