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涂料组合物及其用途

528   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:28:53
本发明涉及涂料组合物及其用途。本发明提供一种涂料组合物，包含(a)一氧化铝前体以及(b)一溶剂。该(a)氧化铝前体包含铝元素及与该铝元素键合的如下基团：(a1)一具通式-OR1的基团，其中R1为H或经取代或未经取代的C1至C13烷基；(a2)一双齿螯合基团；以及(a3)一四配位基团，其中，以该组合物的总重量计，该(a)氧化铝前体的浓度为约1重量%至约50重量%，且以1摩尔铝元素计，基团(a1)、(a2)及(a3)的摩尔数总和为≤3。本发明的涂料组合物可用于半导体制造工艺中制备钝化层。本发明还提供使用该涂料组合物形成的复合材料。
声明：
“涂料组合物及其用途” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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