本发明涉及硬质材料涂覆的物体及用于制造该物体的方法,物体由金属、硬质金属、金属陶瓷或陶瓷制成。根据本发明的硬质材料层例如可用作切削工具的防磨损层、涡轮叶片的保护层或微电子器件中的扩散阻挡层。本发明的目的是提供具有高水平硬度、抗氧化性和优异耐磨性的硬质材料层。该目的包括提供一种用于制造这种硬质材料层的成本有利的方法。该目的通过硬质材料涂覆的物体和用于制造这种物体的方法实现,物体由金属、硬质金属、金属陶瓷或陶瓷制成并利用无等离子体激发的热CVD工艺涂覆有单层或多层的层体系,该层体系包含至少一个纳米
复合材料层,纳米复合材料层具有由立方碳氮氧化钛组成的第一纳米晶相和由碳氮氧化硅或碳氧化硅组成的第二非晶相。
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“由金属、硬质金属、金属陶瓷或陶瓷组成并用硬质材料涂覆的物体和用于制造这种物体的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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