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复合固支梁及其制备方法

805   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:18:52
一种复合固支梁及其制备方法，属于微机电系统技术领域。本发明提出了一种基于“金‑石墨烯‑金”三层复合材料形成的固支梁结构。本发明复合固支梁的制作工艺简单、成本低廉、操作可控性强，且兼具易于与CMOS电路集成的优势；运用本发明复合固支梁作为微机电系统开关，由于其相比石墨烯梁具有较小的杨氏模量和弹性系数，因而能够降低开关的驱动电压；同时，由于其相比传统金属梁具有高机械强度，因此能够解决其作为开关的可靠性问题，进而有利于其作为MEMS开关的商业化发展。
声明：
“复合固支梁及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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