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石墨烯的化学图形化方法

798   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:00:09
本发明公开了一种石墨烯的化学图形化方法，包括以下步骤：1）在石墨烯表面涂抹光阻材料；2）将步骤1）得到的光阻材料-石墨烯复合材料曝光显影，得到需要的图形；3）将步骤2）得到的曝光显影后的光阻材料-石墨烯复合材料送入反应装置，将显影暴露的石墨烯转变为石墨烷；4）去除步骤3）得到的复合材料上的光阻材料，得到图形化的石墨烯。本发明将需要图形化的石墨烯部分进行保留，而将不需要的部分变成石墨烷，由于石墨烷不导电，所以不会影响石墨烯的导电性能，这样既保证了石墨烯的功能性图形化得以实现，同时也保留了石墨烯加工的可逆性。本发明能够做到大规模、高效率的对石墨烯进行图形化。
声明：
“石墨烯的化学图形化方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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