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适用于钛合金表面的纳米多层薄膜及其制备方法

685   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-04 00:30:07
本发明提供一种适用于钛合金表面的纳米多层薄膜及其制备方法，该多层薄膜从钛合金表面向外依次为氮化钛薄膜层、碳化钛薄膜层、氮化钛薄膜层、碳化钛薄膜层以及掺铝的类金刚石薄膜层；该制备方法为先对钛合金基体进行清洗以及抽真空，溅射沉积氮化钛薄膜层，再溅射沉积碳化钛薄膜层，然后分别重复沉积氮化钛薄膜层与碳化钛薄膜层一次，再制备一层掺铝的类金刚石薄膜层，最后进行溅射后处理。与现有技术相比，本发明制备多层薄膜成品率高、方便、快捷、高效，其制备而成的薄膜与基体、薄膜与薄膜之间结合力大、内应力小，具有很好的耐摩擦磨损性能，可适用于航空航天、地质钻探等高强度作业领域。
声明：
“适用于钛合金表面的纳米多层薄膜及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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