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含化学气相共沉积硼化锆/铪‑硼化钽的复合涂层及其制备方法

1091   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:53:50
本发明提供了两种含化学气相共沉积硼化锆/铪‑硼化钽的复合涂层及其制备方法。本发明是采用化学气相沉积(CVD)方法制备了含有ZrB2‑TaB2固溶体的共沉积复合涂层(Zr(Ta)B4)，另一种含有HfB2‑TaB2固溶体的共沉积复合涂层(Hf(Ta)B4)，这两种共沉积复合涂层比单一CVD ZrB2涂层或CVD HfB2具有更高的抗氧化和抗烧蚀性能。如具有Zr(Ta)B4复合涂层的C/C复合材料在氧‑乙炔中烧蚀60s后，其线烧蚀率由‑11.8×10‑4mm/s变为6.1×10‑5mm/s，质量烧蚀率由1.08×10‑3g/s变为4.2×10‑5g/s。其具有优异的抗烧蚀性能，可作为石墨、碳基、陶瓷基复合材料的高温保护涂层。
声明：
“含化学气相共沉积硼化锆/铪‑硼化钽的复合涂层及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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