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采用陶瓷金属管壳轴向烧结的压力敏感器件

939   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:52:15
一种采用陶瓷金属管壳轴向烧结的压力敏感器件，它涉及一种压力敏感器件。本发明要解决现有的压力敏感器件轴向尺寸大和径向尺寸大的问题。本发明器件包括引线、管座、陶瓷绝缘材料、多层复合材料、硼硅玻璃基座、玻璃-金属复合材料、金属电极、芯片和密封环；硼硅玻璃基座的上表面与芯片的下表面通过静电连接成密封结构；使用轴向低温烧结的方法，将硼硅玻璃基座的下表面与陶瓷绝缘材料的上表面通过多层复合材料烧结成一体，多层复合材料为圆片结构，硼硅玻璃基座的下表面为正方形，多层复合材料的直径大于等于硼硅玻璃基座下表面的正方形的对角线。本发明用在压力敏感器件领域。
声明：
“采用陶瓷金属管壳轴向烧结的压力敏感器件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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