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光学部件保持构件及其制造方法

659   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:47:19
本发明涉及一种由陶瓷制成的光学部件保持构件及其制造方法,并且提供防止露点冷凝的有效渗透性。该光学部件保持构件由氮化硅陶瓷基复合材料制成,用于保持光学部件,该氮化硅陶瓷基复合材料通过其中使硅与氮反应的氮化方法制备。通过使用含有碳化硅和铁化合物的氮化硅陶瓷基复合材料,当在厚度为1mm的氮化硅陶瓷基复合材料的样品的两个表面之间加有压差为0.4MPa的气压时,在1.5cm2的有效气流面积内实现了按每分钟计50ml以上的气流量,并且获得了具有防止露点冷凝的有效渗透性的光学部件保持构件。
声明：
“光学部件保持构件及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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