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用类金刚石纳米复合材料制备容性薄膜

732   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:47:15
一种制备电容器(25)的方法,包括:利用具有碳混晶原子尺度网格的类金刚石纳米复合固态材料制备介电层(27)和/或导电层(26),这些网格包括:由氢稳定的类金刚石碳网格,由氧稳定的类玻璃硅网格,及任选的至少一个掺杂元素附加网格或一个掺杂化合物附加网格,该网格包含元素周期表中第1族至第7b族以及第8族的元素。
声明：
“用类金刚石纳米复合材料制备容性薄膜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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