本发明是对氮化硅发热体的改进。它采用纳米级氮化硅细粉填加入普通氮化硅粉达到改性的目的,使配方组份中省略了价格昂贵的氮化铝,从而使高压高温烧结工艺转化为常压高温下烧结。不但大大降低了成本而且提高了发热体的质量,有利于推广普及。配方中采取了45~82%的0.1~5μm的氮化硅和14~40%的小于100nm级的氮化硅微粉,配上0.1~5%的三氧化二铝和3.9~10%的三氧化二钇填加剂,获得了满意的效果。
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