本发明公开了一种等离子体处理设备及用于其上的高导电导磁
复合材料,该高导电导磁复合材料用于制造等离子体处理设备的反应腔外壁,包括高磁导率基材和设置在所述高磁导率基材表面的高电导率层;所述高磁导率基材的材质为坡莫合金。其内芯层磁导率高,外表层电导率高,可以同时满足刻蚀机对磁场和电场屏蔽的需求,通过蒸镀,气相沉积,热喷涂,冷喷涂等方式加工简单,可以实现批量生产。
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