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半导体工艺设备的氮化硼/氧化钇复合材料部件及其制造方法

1082   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:16:02
半导体工艺设备如等离子体腔的一种包括一个含氮化硼/氧化钇复合材料的表面的抗腐蚀部件,及其制造方法。
声明：
“半导体工艺设备的氮化硼/氧化钇复合材料部件及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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