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多种聚合物复合材料电热微驱动器

683   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:15:04
一种多种聚合物复合材料电热微驱动器,属于微机电系统技术领域。本发明包括:基座支撑结构、引线电极、功能膨胀层、应力控制层;应力控制层位于功能膨胀层下方,形成双层结构;功能膨胀层是SU-8胶包裹发热电阻丝构成的复合结构;引线电极与发热电阻丝相连,置于应力控制层上;基座支撑结构上有金属柱阵列,能增强与应力控制层的结合力。本发明的双层结构的伸长端即悬臂梁,是驱动的核心部件,受热产生翘曲,恢复到室温时基本保持平直;作为一个具体实例,发热电阻丝条宽15微米,厚度3微米,功能膨胀层厚度10微米,应力控制层厚度10微米,仿真计算得到输入功率为20MW,10MS后悬臂梁驱动位移达到约80微米。
声明：
“多种聚合物复合材料电热微驱动器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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