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直拉硅单晶用复合材料坩埚的制备方法及应用

711   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:10:04
本发明公开了一种直拉硅单晶用复合材料坩埚的制备方法，属于光伏技术领域，工艺具体步骤包括预制品、CVI、预热、浸渍、碳化、高温气相渗硅、氮化、高温、碳化硅涂层、氢氧化钡涂层、碳酸钡涂层，本发明还公开了一种直拉硅单晶用复合材料坩埚的应用，该工艺制造得到的产品寿命长，在生产单晶硅时不会造成碳元素污染，其涂层质量更好，原料便宜，降低了成本。
声明：
“直拉硅单晶用复合材料坩埚的制备方法及应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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