合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 矿山技术

> 探矿技术

> 曝光装置、曝光法和器件制造法

曝光装置、曝光法和器件制造法

817   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-03 00:30:14
在掩模台(RST)上固定一个其上形成有至少一个针孔状图案的基准板(RFM),掩模台(RST)上固持地移动掩模(R)。因此,例如可以不用任何特殊类型的测量用掩模,通过把连结型波前测量仪(80)设置到衬底台(WST)上、利用照明系统(IOP)照射基准板并利用波前测量仪接收通过投影光学系统在针孔状图案处产生的球面波,来测量投影光学系统(PL)的波前象差。因此,可以以理想的计时很容易地测量投影光学系统的波前象差,这使得能够对投影光学系统进行充分地质量控制。因此,可以利用进行了充分地质量控制的投影光学系统把掩模图案精确地转印到衬底上。
声明：
“曝光装置、曝光法和器件制造法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
探矿技术
上一个：右转和直行畅通的四个独立“Y”字形分叉桥的组合桥
下一个：具有并列镶齿的牙轮钻头

与 “曝光装置、曝光法和器件制造法” 相关技术

▪ 基于智能控制的再生铝冶炼炉
▪ 支架安装方便的太阳能光伏组件
▪ 高强度铝合金材料及其制备方法
▪ 全膜法处理光伏单晶硅片废水回用技术
▪ 含重金属的氨氮废水的处理方法
▪ 可智能调节的光伏板组件支架
▪ 多晶硅生产废水的处理回收系统
▪ 高盐含氨废水处理系统及节能运行工艺
▪ 高效冶金真空吸铝装置
▪ 真空感应熔炼炉可调节自动泄压装置

相关探矿设备推荐

细砂回收脱水一体机
立式A/B玛瑙球磨罐—搭配行星球磨机
大流量砂磨机
4立方搅拌运输车
石子料无轴滚筒筛
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪基于智能控制的再生铝冶炼炉
▪支架安装方便的太阳能光伏组件
▪高强度铝合金材料及其制备方法
▪全膜法处理光伏单晶硅片废水回用技术
▪含重金属的氨氮废水的处理方法
▪可智能调节的光伏板组件支架
▪多晶硅生产废水的处理回收系统
▪高盐含氨废水处理系统及节能运行工艺
▪高效冶金真空吸铝装置
▪真空感应熔炼炉可调节自动泄压装置

报名参会
更多+

2024退役新能源器件循环利用技术交流会
2024退役新能源器件循环利用技术交流会
2024年11月29日 ~ 12月01日
2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024全国海工装备及高技术船舶材料技术交流会
2024年12月06日 ~ 08日
2024磷资源高值利用创新发展论坛暨第二届磷酸锰铁锂技术交流会
2024磷资源高值利用创新发展论坛暨第二届磷酸锰铁锂技术交流会
2024年12月13日 ~ 15日
2024低空飞行器与轻量化材料论坛
2024低空飞行器与轻量化材料论坛
2024年12月20日 ~ 22日
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日

报告下载

1 浮选药剂与矿物作用的配位理论
下载:295
2 磨矿浮选智能控制的工程实践
下载:240
3 基于CFD-PBM和CFD-DE
下载:208
4 铜铅锌氧化矿强化硫化浮选理论
下载:205
5 微细粒尾矿膏体浓缩及胶结充填技
下载:193
6 多固废协同的固废基胶凝材料混凝
下载:190
7 基于选矿工艺流程的尾矿优选组合
下载:176
8 铅锌银多金属氧化矿石 工艺矿物学
下载:157
9 新药剂在锂矿资源高效开发利用中
下载:151
10 表面粗糙度对水滴在菱镁矿表面粘
下载:150
2024退役新能源器件循环利用技术交流会
推广

热门技术
更多+

1矿产分选机和缓冲装置
2矿山采矿安全防护装置
3铜矿石中汞含量的测定方法
4铜捕收剂及硫化铜钴矿的浮选工艺
5基于三维点云的物料堆自动提取和体积测量方法及系统
6倾斜层状固体矿床放矿开采方法
7具有除尘功能的矿用破碎机
8自然崩落采矿的底部受矿结构及采矿方法
9尾矿库内干排尾砂的卸料系统及使用方法
10基于模糊数学与层次分析的绿色矿山建设评价方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记