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多晶硅炉用炭/炭复合材料发热体的制备方法

903   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:04:02
本发明公开了一种多晶硅炉用炭/炭复合材料发热体的制备方法，将U形 炭纤维坯体进行高温纯化预处理后沉积，热处理温度为1600～2800℃；将U 形炭纤维坯体以高纯N2为载气和稀释气体、C3H6为炭源进行裂解增密制备出炭 /炭复合坯体，裂解温度850～1200℃，时间100～400h，炉内气压0.5kPa～ 2.5kPa；将增密至一定密度的炭/炭复合坯体进行机加工，酸洗+氯盐洗，进行 高温纯化处理，处理温度为2000～2800℃；将炭/炭复合坯体以高纯N2为载气 和稀释气体、C3H6为炭源进行表面涂层处理，裂解温度900～1300℃，时间10～ 100h，炉内气压1.0kPa～4.0kPa；并测定炭/炭复合材料发热体成品的技术指 标。本发明能制备出纯度高、电阻率随温度变化稳定、使用寿命长的大尺寸异 形薄壁炭/炭复合材料发热体。
声明：
“多晶硅炉用炭/炭复合材料发热体的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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