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光刻设备、复合材料以及制造方法

767   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 16:00:02
本发明公开了一种光刻设备、复合材料以及制造方法,所述光刻设备包括:照射系统,构建用于调节辐射束;支撑件,构造用于支撑图案形成装置。所述图案形成装置能够将图案在辐射束的横截面上赋予辐射束以便形成图案化的辐射束。所述光刻设备进一步包括:衬底台,构建用于保持衬底;和投影系统,构建用于将图案化的辐射束投影到衬底的目标部分上。所述光刻设备可以设置有复合材料,其中,碳纤维层和钛层设置在所述复合物中。
声明：
“光刻设备、复合材料以及制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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