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碳/碳复合材料PECVD承载框的制备方法

893   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:53:01
本发明提出了一种碳/碳复合材料PECVD承载框的制备方法。与传统石墨材质的承载框相比，碳/碳复合材料力学性能优于石墨，而且能够适应PECVD高温，高真空度，等离子体溅射等恶劣的镀膜环境。此外，本发明采取CVI(化学气相沉积)工艺制备的碳/碳板材力学性能更佳，碳/碳复合材料承载框表面沉积碳化硅涂层后，承载框的耐酸洗性能得到增强，进而大大减少了承载框更换频次，提高了其使用寿命。
声明：
“碳/碳复合材料PECVD承载框的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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