本发明涉及一种基于纳米氧化锌
复合材料的柔性超声传感器,属于超声传感器和微纳加工领域。本发明公开的柔性超声传感器主要由柔性基底、纳米氧化锌复合材料、声匹配层和电极组成。纳米氧化锌复合材料作为压电层,由纳米氧化锌结构和柔性胶体组成,纳米氧化锌结构通过水热生长法制备,柔性胶体填充于纳米氧化锌结构之中,这种复合结构具有良好的鲁棒性,有利于实现双面电极的紧密接触。基于柔性基底和纳米氧化锌复合材料的结构,可以提高超声传感器的灵敏度、柔韧性和弯曲强度,因此可对任意曲面形状的目标进行共形超声探测。本发明还公开所述超声传感器的制备方法,其制备工艺简单,适合大规模生产。
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“基于纳米氧化锌复合材料的柔性超声传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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