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高灵敏压力传感器

734   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-02 00:40:06
本实用新型公开了一种高灵敏压力传感器,它由壳体、硅杯、进气口和引线组成,其主要特征是硅杯上覆盖有硅膜片,硅膜片上设有氧化层,硅杯下部的高压腔与进气口连通,氧化层上设有纳米硅力敏电阻,本实用新型灵敏性高,稳定性好,温度范围宽,可广泛使用于汽车、探矿及军事工程。
声明：
“高灵敏压力传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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