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控制锆钛酸铅铁电薄膜择优取向的方法

1100   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-02 00:40:05
本发明是提供一种修正的溶胶－凝胶技术，通过 不同技术控制锆钛酸铅铁电薄膜的取向程度，探索制备具有高 度择优取向钙钛矿结构铁电薄膜的方法。本发明：(1)通过不同 的预处理方法，即常规热处理和快速热处理，可以得到程度不 同的择优取向。(2)选用不同工艺制备的Pt/Ti底电极，即直流 溅射和真空蒸发，可以得到程度不同的择优取向。(3)采用不同 的衬底结构来控制锆钛酸铅铁电薄膜的择优取向方向。即在 Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上的锆钛 酸铅铁电薄膜以(110)方向择优取向；在LNO(100)/Si和 LNO/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的铁电 薄膜以(100)方向择优取向。
声明：
“控制锆钛酸铅铁电薄膜择优取向的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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