本发明涉及测量由微小力引起的微小位移及微小角位移的传感器领域,具体涉及一种多联多扇差动电容传感器系统装置。一种多联多扇差动电容传感器系统装置,其特征是,各组的左、右定扇和中间动扇都是由导电扇形和绝缘扇形均匀扇形间隔的圆盘,其中导电扇形的相邻两侧是绝缘扇形,或绝缘扇形的相邻两侧是导电扇形,依次类推;圆盘的扇形个数是M个,M是大于或等于2,小于或等于360的自然偶数,扇形的角度是360/M度。本发明的有益效果是无机械触点,抗干扰强,工作可靠,使用寿命长,制作简单,成本低。本发明的灵敏度灵敏度达到10-11,可以测量微小力引起的微小位移及微小角位移,如微重力探矿,地球潮汐等,可广泛应用到航空航天领域。
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