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大面积薄区透射电镜样品的制备方法

814   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-02 00:30:12
本发明涉及一种制备大面积透射电镜样品的方法，将样品切割研磨成长条，然后用氩离子束进行离子切割目标区域厚度到10μm；之后，把样品转移到离子束抛光设备上平整放置，样品台可以调节角度，且能够旋转和摆动，用氩离子束依次用18°、12°、9°、6°、3°角对样品进行抛光减薄，用体视镜可以观察样品变化；最后用低电压的离子束进行样品的清洗，避免了样品制备过程中产生的非晶层，可以获得高质量具有大面积薄区的透射电镜样品，从而应用于矿物、陨石等复杂材料的透射电镜测试和结合纳米粒子探针/电子探针等原位分析技术中。
声明：
“大面积薄区透射电镜样品的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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