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C/C复合材料表面SiC涂层的制备方法

635   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:27:01
一种C/C复合材料表面SiC涂层的制备方法，包括如下步骤：(1)制备并预处理C/C复合材料坯体；(2)C/C复合材料坯体表面处理：使用激光切削装置真空环境下在C/C复合材料坯体的表面形成均匀的槽口，所有的槽口形成网格状结构；(3)SiC涂层的制备：采用化学气相沉积法，并以三氯甲基硅烷MTS作为前驱体以提供沉积反应的硅源和碳源；(4)连续重复步骤(3)中的沉积过程1‑2次，重复之前，清空化学气相沉积炉中的残留气体，更换新的三氯甲基硅烷MTS作为前驱体以提供沉积反应的硅源和碳源，其余沉积条件不变。本发明可以有效解决SiC高温氧化时产生的严重氧化甚至剥落、脱离现象及失效现象，利于延长涂层的使用寿命，从而利于提高C/C复合材料的高温抗氧化性能。
声明：
“C/C复合材料表面SiC涂层的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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