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用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌薄膜材料的方法

1110   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-02 00:30:06
本发明涉及用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌 薄膜材料的方法。在不同衬底上通过高温热氧化氮化锌单晶薄 膜获得p－型氧化锌材料，通过控制氧化温度与热氧化时间来 控制p－型氧化锌材料的受主杂质浓度。利用高温条件下氧易 于替代立方反铁锰矿结构氮化锌中的氮，并形成六方结构p－ 型氧化锌，可实现氮的替位掺杂形成p－型氧化锌，并通过热 氧化氮化锌薄膜制备出受主浓度为6×1016－4×1018cm－3的具有六方结构的p－型氧化锌薄膜材料。方法简单，实验条件可控，可实现对p－型氧化锌电学性质和载流子浓度的控制，以满足制备氧化锌P－N结材料和光电子器件等方面的需要，可用于制备氧化锌紫外发光管、激光二极管、紫外探测器。
声明：
“用热氧化氮化锌制备受主型氧化锌薄膜材料的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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