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含有氧化铝涂层和碳化硅涂层的炭/炭复合材料坩埚

837   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:23:01
本发明涉及一种含有氧化铝涂层和碳化硅涂层的炭/炭复合材料坩埚，属于单晶硅拉制炉用热场部件技术领域。所述复合材料坩埚包括炭/炭复合材料坩埚本体以及依次涂覆在坩埚本体内表面的碳化硅涂层、氧化铝涂层，碳化硅涂层有效缓解了氧化铝涂层与基体之间的热失配，氧化铝涂层在熔融硅过程中不引入杂质，能够有效保证硅料的纯度，而且碳化硅涂层和氧化铝涂层配合使用具有优异的抗侵蚀性能，能够有效避免含硅蒸汽对复合材料坩埚本体的侵蚀，进一步提高复合材料坩埚的使用寿命，满足单晶硅拉制的需求。
声明：
“含有氧化铝涂层和碳化硅涂层的炭/炭复合材料坩埚” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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