本发明所述的一种薄样和厚样兼容测量的X射线能谱仪,包括X射线出射窗口、安全光闸机构、X射线管、干扰光阻断结构、探测器、薄样品插槽。其中X射线出射窗口与X射线光束同轴,薄样品插槽设于X射线出射窗口与X射线管之间,干扰光阻断结构设于X射线管与探测器之间,安全光闸机构设于X射线管以及探测器与X射线出射窗口之间。本发明所述一种薄样和厚样兼容测量的X射线能谱仪的优点在于:它有效的结合了薄、厚样技术
检测仪的长处,既能满足一般工矿单位对样品进行简单方便快捷的测量,又可以得到更高精度的测量结果,满足实验研究的需要。
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