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复合材料和晶片保持部件及其制造方法

798   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:21:02
一种复合材料，由SiC、SiO2、Al或Si中的至少一种物质组成，He泄漏速率为1.3×10－10Pa·m3/sec或其以下。通过这种构成，可以得到具有高的真空气密性和优良的导热系数、可以调节热膨胀系数、强度波动小、具有高度可靠性的复合材料以及使用该复合材料的晶片保持部件。
声明：
“复合材料和晶片保持部件及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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