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高深宽比结构的电容式加速度计

921   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-01 01:00:06
本实用新型公开了一种高深宽比结构的电容式加速度计,它涉及半导体MEMS制造领域中的一种高灵敏度加速度计。它由玻璃衬底、硅质量块、玻璃衬底电极、硅玻璃键合台面、悬臂梁、硅定梳尺、硅动梳尺、硅片等部件组成。硅定梳尺通过硅-玻璃键合点固定在玻璃衬底,形成固定部分,硅动梳尺、硅质量块通过悬臂梁与硅玻璃键合台面连接,形成可动部分。当感受到敏感轴方向外界加速度时,悬臂梁产生变形,硅动梳尺和硅定梳尺之间的电容量改变被采集输出,测出加速度。它具有加工工艺简单,工艺精度高,成本低廉等特点,它还具有灵敏度高,分辨率高,性能稳定等优点,特别适用于地质探矿、个人导航系统等高新技术领域作加速度计。
声明：
“高深宽比结构的电容式加速度计” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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