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超细碳-氮-硅复合材料气相合成新工艺

921   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:14:02
本发明是一种制备超细碳氨硅复合材料的气相 合成新工艺, 工艺中采取直流等离子弧为热源的密闭反应器中 完成, 所采用的原料为三氯甲基硅烷和液氨, 两者按1.4－1.8∶1 的比例(液态重量比)注入反应器, 并借助自由沉降过程中淬冷 直接复合成固态微粉, 反应借助调控等离子体发生器输出功率和N2、H2比例稳定, 保持反应温度在1100℃－1800℃之间, 经淬冷细化的微粉经加热后处理去除氯化物杂质生成超细Si－N－C纳米级复合材料。
声明：
“超细碳-氮-硅复合材料气相合成新工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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