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原位检测矿物微区EBSD图像的方法

665   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-01 00:50:18
本发明提供了一种原位检测矿物微区EBSD图像的方法，采用配置了电子背散射衍射探头的双束扫描电镜进行检测，步骤如下：(1)将样品置于样品台上，密闭样品腔并抽真空，选取检测区域；(2)利用FIB功能将选取的检测区域内的样品制成切片，固定在FIB载网上使切片与样品台垂直，利用FIB功能将切片减薄成薄片样品；(3)①对薄片样品进行t‑EBSD检测，得到初始厚度下的样品微区EBSD图像；②利用FIB功能对薄片样品继续减薄，减薄过程中，利用SEM功能实时观察薄片样品的表面形态，当薄片样品表面出现纳米颗粒时，对出现纳米颗粒的区域进行t‑EBSD检测，得到包含纳米颗粒的样品微区EBSD图像；③重复步骤②的操作，得到不同厚度下包含纳米颗粒的样品微区EBSD图像。
声明：
“原位检测矿物微区EBSD图像的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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