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原位检测矿物微区EBSD图像的方法

591   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-01 00:50:18
本发明提供了一种原位检测矿物微区EBSD图像的方法,采用配置了电子背散射衍射探头的双束扫描电镜进行检测,步骤如下:(1)将样品置于样品台上,密闭样品腔并抽真空,选取检测区域;(2)利用FIB功能将选取的检测区域内的样品制成切片,固定在FIB载网上使切片与样品台垂直,利用FIB功能将切片减薄成薄片样品;(3)①对薄片样品进行t‑EBSD检测,得到初始厚度下的样品微区EBSD图像;②利用FIB功能对薄片样品继续减薄,减薄过程中,利用SEM功能实时观察薄片样品的表面形态,当薄片样品表面出现纳米颗粒时,对出现纳米颗粒的区域进行t‑EBSD检测,得到包含纳米颗粒的样品微区EBSD图像;③重复步骤②的操作,得到不同厚度下包含纳米颗粒的样品微区EBSD图像。
声明:
“原位检测矿物微区EBSD图像的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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