本发明公开一种
钙钛矿薄膜的制备方法,属于半导体电子薄膜技术领域;本发明经过La0.7Ca0.3MnO3:Ag0.2多晶陶瓷靶材的制备、薄膜材料的制备、薄膜材料后退火处理制得钙钛矿薄膜;本发明方法制备的钙钛矿薄膜电阻率值低,金属‑绝缘体转变温度(Tp)更接近室温,电阻温度系数(TCR)更大,能够更广泛的应用于近室温磁电子器件、超巨磁电阻测辐射热仪、红外探测器等器件。
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