本发明属于薄膜材料技术领域。薄膜组成的通式为La1-x-yMxKyMnO3,其中M=Ca、Sr或Ba,0<x<1,0<y<1,x+y<1。制备方法有下述步骤:(1)水热法合成靶材。先得到三重价态
钙钛矿型锰氧化物黑色晶体。将制得的晶体研磨,压片,烧结,得到所用的靶材。(2)用射频磁控溅射方法制备薄膜。在常温下这类薄膜具有p-n结整流性质,因此可以作为独立器件,在晶体管、集成电路、整流器、激光器以及各种光电探测器件、微波器件、光电转换器件、量子计算集成器件等方面得到应用。
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“三重价态钙钛矿型锰氧化物薄膜材料及其制备和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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