本发明公开了一种小晶粒锐钛矿光学薄膜及其制备方法,有效抑制锐钛矿大晶粒现象的技术难题,有效地提高了像增强器输入窗与光电阴极界面的透过率,提高了光电阴极的光电发射效率,属于光电探测领域。本发明所述小晶粒锐钛矿光学薄膜制备在玻璃基底表面。小晶粒锐钛矿光学薄膜由过渡层、锐钛矿薄膜和夹层薄膜组成。锐钛矿薄膜制备在过渡层薄膜表面,在锐钛矿薄膜的基础上制备夹层薄膜,周期性的重复锐钛矿薄膜和夹层薄膜的制作,且表层为锐钛矿薄膜,达到要求的厚度即完成小晶粒锐钛矿光学薄膜制备。
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