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光学Tamm态增强型石墨烯光电探测器及其制备方法

994   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-01 00:30:10
本发明涉及一种光学Tamm态增强型石墨烯光电探测器，该光电探测器包括自下而上依次堆叠的P型高掺硅片(1)、金属反射镜(2)、绝缘层(3)、光敏层和漏源电极(4)、介质保护层(5)和介质布拉格反射镜(6)，所述的光敏层(4)为二维材料或有机光电薄膜，包括石墨烯、二硫化钼、黑磷等、钙钛矿、量子点薄膜。本发明利用光学Tamm态将石墨烯的光吸收能力提升了26倍(从2.3％提升至60％)，解决了纯石墨烯光电探测器光响应率低的问题(从0.6mA/W提升至30mA/W)；通过改变结构参数(金属反射镜材料，介质布拉格反射镜参数)可以实现不同响应频率和带宽的光电探测，以满足不同的应用需求。
声明：
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